בקרת טמפרטורה ולחץ אוויר בחדר נקי

הגנת הסביבה מוקדשת יותר ויותר, במיוחד עם הגדלת מזג האוויר האובך. הנדסת חדרים נקיים היא אחד האמצעים להגנת הסביבה. כיצד להשתמש בהנדסת חדרים נקיים כדי לעשות עבודה טובה בהגנה על הסביבה? בואו נדבר על השליטה בהנדסת חדרים נקיים.

בקרת טמפרטורה ולחות בחדר נקי

הטמפרטורה והלחות של מרחבים נקיים נקבעים בעיקר על סמך דרישות התהליך, אך כאשר עמידה בדרישות התהליך, יש לקחת בחשבון נוחות אנושית. עם שיפור דרישות ניקיון האוויר, קיימת מגמה של דרישות מחמירות יותר לטמפרטורה ולחות בתהליך.

כעיקרון כללי, בשל הדיוק ההולך וגובר של העיבוד, הדרישות לטווח תנודות הטמפרטורה הופכות קטנות וקטנות יותר. לדוגמה, בתהליך הליטוגרפיה והחשיפה של ייצור מעגלים משולבים בקנה מידה גדול, ההבדל במקדם ההתרחבות התרמי בין פרוסות זכוכית לסיליקון המשמש כחומרי מסכה הופך להיות קטן יותר ויותר.

רקיק סיליקון בקוטר של 100 מיקרומטר גורם להתרחבות ליניארית של 0.24 מיקרומטר כאשר הטמפרטורה עולה במידה אחת. לפיכך, יש צורך בטמפרטורה קבועה של ± 0.1 ℃, וערך הלחות הוא בדרך כלל נמוך מכיוון שאחרי הזעה, המוצר יהיה מזוהם, במיוחד בסדנאות מוליכים למחצה המפחדים מנתרן. סוג זה של סדנה לא אמור לעלות על 25 ℃.

לחות מוגזמת גורמת לבעיות רבות יותר. כאשר הלחות היחסית עולה על 55%, ייוצר עיבוי על קיר צינור המים הקירור. אם זה מתרחש במכשירים מדויקים או במעגלים, זה יכול לגרום לתאונות שונות. כאשר הלחות היחסית היא 50%, קל להחליד. בנוסף, כאשר הלחות גבוהה מדי, האבק הדבק על פני השטח של רקיק הסיליקון יוספג כימית על פני השטח דרך מולקולות מים באוויר, שקשה להסיר.

ככל שהלחות היחסית גבוהה יותר, כך קשה יותר להסיר את ההדבקה. עם זאת, כאשר הלחות היחסית היא מתחת ל -30%, חלקיקים נספגים בקלות על פני השטח בגלל פעולת הכוח האלקטרוסטטי, ומספר גדול של מכשירי מוליכים למחצה מועדים להתמוטטות. טווח הטמפרטורות האופטימלי לייצור פליקי הסיליקון הוא 35-45%.

לחץ אווירלִשְׁלוֹטבחדר נקי 

עבור מרבית החללים הנקיים, על מנת למנוע את הפלישה לזיהום חיצוני, יש צורך לשמור על לחץ פנימי (לחץ סטטי) גבוה יותר מלחץ חיצוני (לחץ סטטי). שמירת הפרש לחץ צריכה בדרך כלל לעמוד בעקרונות הבאים:

1. הלחץ בחללים נקיים צריך להיות גבוה יותר מזה שבמרחבים שאינם נקיים.

2. הלחץ בחללים עם רמות ניקיון גבוה צריך להיות גבוה יותר מזה שבמרחבים סמוכים עם רמות ניקיון נמוכות.

3. יש לפתוח את הדלתות בין חדרים נקיים לעבר חדרים עם רמות ניקיון גבוהות.

שמירה על הפרש לחץ תלויה בכמות האוויר הצח, אשר אמור להיות מסוגל לפצות על דליפת האוויר מהפער תחת הפרש לחץ זה. אז המשמעות הפיזית של הפרש לחץ היא ההתנגדות של זרימת אוויר דליפה (או הסתננות) דרך פערים שונים בחדר נקי.