מאפיינים כלליים של חדר נקיון CHIP ברמת ניקיון גבוהה

1. מאפייני עיצוב

בשל דרישות הפונקציונליזציה, המזעור, האינטגרציה והדיוק של מוצרי שבבים, דרישות התכנון של חדר נקי לשבבים לייצור שונות באופן משמעותי מאלה של מפעלים כלליים.

(1) דרישות ניקיון: סביבת ייצור השבבים דורשת בקרה גבוהה למספר חלקיקי האוויר;

(2) דרישות אטימות אוויר: צמצום פערים מבניים וחיזוק אטימותם של מבני פערים כדי למזער את השפעת דליפת אוויר או זיהום;

(3) דרישות מערכת מפעל: מערכות כוח ואלקטרומכניות מיוחדות עונות על צרכי מכונות תהליך, כגון גזים מיוחדים, כימיקלים, שפכים טהורים וכו';

(4) דרישות למניעת מיקרו-ויברציות: עיבוד שבבים דורש דיוק גבוה, ויש להפחית את השפעת הויברציות על הציוד;

(5) דרישות שטח: תוכנית קומת המפעל פשוטה, עם חלוקות פונקציונליות ברורות, צינורות נסתרים וחלוקת שטח סבירה, המאפשרת גמישות בעת עדכון תהליכי ייצור וציוד.

2. מיקוד בבנייה

(1). תקופת בנייה צפופה יותר. על פי חוק מור, צפיפות שילוב השבבים תוכפל כל 18 עד 24 חודשים בממוצע. עם העדכון והאיטרציה של מוצרים אלקטרוניים, גם הביקוש למפעלי ייצור יעודכן. עקב העדכון המהיר של מוצרים אלקטרוניים, חיי השירות בפועל של מפעלים אלקטרוניים נקיים הם 10 עד 15 שנים בלבד.

(2). דרישות גבוהות יותר לארגון משאבים. חדר נקי אלקטרוני הוא בדרך כלל גדול מבחינת נפח בנייה, תקופת בנייה צפופה, תהליכים זה בזה צפופים, תחלופת משאבים קשה וצריכת חומרים עיקריים מרוכזת יותר. ארגון משאבים צפוף שכזה גורם ללחץ גבוה על ניהול התוכנית הכולל ולדרישות ארגון משאבים גבוהות. בשלב היסוד והשלב הראשי, הדבר בא לידי ביטוי בעיקר בעבודה, מוטות פלדה, בטון, חומרי שלדה, מכונות הרמה וכו'; בשלב האלקטרומכניקה, התקנת הציוד והקישוט, הדבר בא לידי ביטוי בעיקר בדרישות האתר, צינורות שונים וחומרי עזר למכונות בנייה, ציוד מיוחד וכו'.

(3). דרישות איכות בנייה גבוהות באות לידי ביטוי בעיקר בשלושת ההיבטים של שטוחות, אטימות אוויר ובנייה דלת אבק. בנוסף להגנה על ציוד מדויק מפני נזקי סביבה, רעידות חיצוניות ותהודה סביבתית, יציבות הציוד עצמו חשובה באותה מידה. לכן, דרישת שטוחות הרצפה היא 2 מ"מ/2 מטר. הבטחת אטימות אוויר ממלאת תפקיד משמעותי בשמירה על הפרשי לחצים בין אזורים נקיים שונים ובכך בשליטה במקורות זיהום. יש לשלוט בקפדנות בניקיון החדר הנקי לפני התקנת ציוד סינון ומיזוג אוויר, ולשלוט על הקישורים המועדים לאבק במהלך הכנת הבנייה והבנייה לאחר ההתקנה.

(4) דרישות גבוהות לניהול ותיאום קבלני משנה. תהליך הבנייה של חדר נקי אלקטרוני הוא מורכב, מתמחה מאוד, כרוך בקבלני משנה רבים ומיוחדים, ויש בו מגוון רחב של פעולות צולבות בין תחומים שונים. לכן, יש צורך לתאם את התהליכים ומשטחי העבודה של כל תחום, להפחית פעולות צולבות, להבין את הצרכים בפועל של מסירת ממשק בין תחומים, ולעשות עבודה טובה בתיאום ובניהול של הקבלן הראשי.