מיגון אש ואספקת מים בחדר נקי

מתקני הגנה מפני אש הם חלק חשוב מהחדר הנקי. חשיבותו היא לא רק בגלל שציוד התהליך ופרויקטי הבנייה שלו יקרים, אלא גם בגלל שחדרים נקיים הם בניינים סגורים יחסית, וחלקם אפילו בתי מלאכה ללא חלונות. מעברי החדרים הנקיים צרים ומפותלים, מה שמקשה על פינוי כוח אדם וללמד אש. על מנת להבטיח את בטיחות חייהם ורכושם של אנשים, יש ליישם בתכנון את מדיניות ההגנה מפני אש של "מניעה תחילה, שילוב מניעה ואש". בנוסף לנקיטת אמצעים יעילים למניעת שריפות בתכנון החדר הנקי, כמו כן, מוקמים גם מתקני כיבוי אש הדרושים. מאפייני הייצור של חדרים נקיים הם:

(1) ישנם ציוד ומכשירים מדויקים רבים, ומשתמשים במגוון של גזים ונוזלים דליקים, נפיצים, קורוזיביים ורעילים. סכנת השריפה של חלקי ייצור מסוימים שייכת לקטגוריה C (כגון דיפוזיה של חמצון, פוטוליתוגרפיה, השתלת יונים, הדפסה ואריזה וכו'), וחלק שייכת לקטגוריה A (כגון משיכת גביש יחיד, אפיטקסיה, שקיעת אדים כימית וכו'. .).

(2) החדר הנקי אטום מאוד. ברגע שתפרוץ שריפה, יהיה קשה לפנות כוח אדם ולכבות את השריפה.

(3) עלות הבנייה של חדר נקי גבוהה והציוד והמכשירים יקרים. ברגע שתפרוץ שריפה, ההפסדים הכלכליים יהיו עצומים.

בהתבסס על המאפיינים לעיל, לחדרים נקיים יש דרישות גבוהות מאוד להגנה מפני אש. בנוסף למערכת מיגון האש ואספקת המים, יש להתקין גם מכשירי כיבוי אש קבועים, במיוחד יש לקבוע בקפידה ציוד ומכשירים יקרי ערך בחדר נקי.