הגנה מפני אש ואספקת מים בחדר נקי

מתקני כיבוי אש הם חלק חשוב בחדר הנקי. חשיבותם אינה רק משום שציוד התהליך ופרויקטי הבנייה שלו יקרים, אלא גם משום שחדרים נקיים הם מבנים סגורים יחסית, וחלקם אף סדנאות ללא חלונות. מעברי החדרים הנקיים צרים ומפותלים, מה שמקשה על פינוי עובדים ולימוד אש. על מנת להבטיח את בטיחות חייהם ורכושם של אנשים, יש ליישם בתכנון את מדיניות כיבוי האש של "מניעה תחילה, שילוב מניעה ואש". בנוסף לנקיטת אמצעי מניעת אש יעילים בתכנון החדר הנקי, בנוסף, יוקמו גם מתקני כיבוי אש נחוצים. מאפייני הייצור של חדרים נקיים הם:

(1) ישנם ציוד ומכשירים מדויקים רבים, ומגוון גזים ונוזלים דליקים, נפיצים, קורוזיביים ורעילים נמצאים בשימוש. סכנת האש של חלק מחלקי הייצור שייכת לקטגוריה C (כגון דיפוזיה של חמצון, פוטוליתוגרפיה, השתלת יונים, הדפסה ואריזה וכו'), וחלקם שייכים לקטגוריה A (כגון משיכת גבישים בודדים, אפיטקסיה, שקיעת אדים כימית וכו').

(2) החדר הנקי אטום מאוד. ברגע שפרצה שריפה, יהיה קשה לפנות את הצוות ולכבות את האש.

(3) עלות הבנייה של חדר נקי גבוהה והציוד והמכשירים יקרים. ברגע שפרוץ שריפה, ההפסדים הכלכליים יהיו עצומים.

בהתבסס על המאפיינים הנ"ל, לחדרים נקיים יש דרישות גבוהות מאוד להגנה מפני אש. בנוסף למערכת הגנה מפני אש ואספקת מים, יש להתקין גם התקני כיבוי אש קבועים, ובמיוחד יש לבחור בקפידה ציוד ומכשירים יקרי ערך בחדרים נקיים.