הגנת אש ואספקת מים בחדר נקי

מתקני הגנת אש הם חלק חשוב בחדר הנקי. חשיבותו היא לא רק מכיוון שציוד התהליכים ופרויקטים של בנייה יקרים, אלא גם מכיוון שחדרים נקיים הם בניינים סגורים יחסית, וחלקם אפילו סדנאות ללא חלונות. מעברי החדר הנקי הם צרים ומפותלים, ומקשים על פינוי כוח אדם וללמד אש. על מנת להבטיח את בטיחות חייהם ורכושם של האנשים, יש ליישם את מדיניות הגנת האש של "מניעה ראשונה, שילוב מניעה ואש" בתכנון. בנוסף לנקוט אמצעים יעילים למניעת אש בתכנון החדר הנקי, בנוסף, מוקמים גם מתקני לחימה בכבדות. מאפייני הייצור של חדרים נקיים הם:

(1) ישנם ציוד ומכשירים מדויקים רבים, ומגוון גזים ונוזלים דליקים, נפץ, קורוזיבי ורעילים. סכנת האש של כמה חלקי ייצור שייכת לקטגוריה C (כמו דיפוזיה חמצון, פוטוליטוגרפיה, השתלת יונים, הדפסה ואריזה וכו '), וחלקם שייכים לקטגוריה A (כמו משיכת גביש יחידה, אפיטקסיה, תמצית אדים כימיים וכו' .).

(2) החדר הנקי אטום מאוד. לאחר שתפורץ שריפה, יהיה קשה לפנות כוח אדם ולהוציא את האש.

(3) עלות הבנייה של החדר הנקי גבוה והציוד והמכשירים יקרים. ברגע ששריפה תפרוץ, ההפסדים הכלכליים יהיו עצומים.

בהתבסס על מאפיינים לעיל, חדרים נקיים יש דרישות גבוהות מאוד להגנה על האש. בנוסף למערכת הגנת האש ואספקת המים, יש להתקין גם מכשירי כיבוי אש קבועים, יש לקבוע בזהירות ציוד ומכשירים יקרי ערך בחדר נקי.