דרישה אלקטרונית לעיצוב חדר נקי

בנוסף לבקרה קפדנית של חלקיקים, לחדר נקי אלקטרוני המיוצג על ידי סדנאות לייצור שבבים, סדנאות נטולות אבק במעגלים משולבים וסדנאות לייצור דיסקים יש גם דרישות מחמירות יותר לבקרת טמפרטורה ולחות, תאורה ומיקרו-שוק. הסר בקפדנות את ההשפעה של חשמל סטטי על מוצרי ייצור, כך שהסביבה תוכל לעמוד בדרישות תהליך הייצור של מוצרים אלקטרוניים בסביבה נקייה.

יש לקבוע את הטמפרטורה והלחות של החדר הנקי האלקטרוני בהתאם לדרישות תהליך הייצור. כאשר אין דרישות ספציפיות לתהליך הייצור, הטמפרטורה יכולה להיות 20-26 מעלות צלזיוס והלחות היחסית היא 30%-70%. הטמפרטורה של החדר והסלון הנקיים של הצוות יכולה להיות 16-28℃. על פי התקן הלאומי הסיני GB-50073, התואם את תקני ISO הבינלאומיים, רמת הניקיון בחדר נקי מסוג זה היא 1-9. ביניהם, מחלקה 1-5, דפוס זרימת האוויר הוא זרימה חד כיוונית או זרימה מעורבת; דפוס זרימת אוויר מסוג 6 הוא זרימה לא חד-כיוונית ושינוי האוויר הוא 50-60 פעמים/שעה; סוג זרימת אוויר מסוג 7 הוא זרימה לא חד כיוונית, ושינוי האוויר הוא 15-25 פעמים/שעה; סוג זרימת אוויר בדרגה 8-9 היא זרימה לא חד כיוונית, החלפת האוויר היא 10-15 פעמים/שעה.

על פי המפרט הנוכחי, רמת הרעש בחדר נקי מסוג 10,000 לא צריכה להיות גדולה מ-65dB(A).

1. היחס המלא של חדר נקי זרימה אנכית בחדר נקי אלקטרוני לא צריך להיות פחות מ-60%, והחדר הנקי זרימה חד-כיוונית לא צריכה להיות פחות מ-40%, אחרת תהיה זו זרימה חד-כיוונית חלקית.

2. הפרש הלחץ הסטטי בין חדר נקי אלקטרוני לחלל החוץ לא צריך להיות קטן מ-10Pa, והפרש הלחץ הסטטי בין אזורים נקיים לאזורים לא נקיים עם ניקיון אוויר שונה לא יפחת מ-5Pa.

3. כמות האוויר הצח בחדר נקי אלקטרוני מסוג 10000 צריכה לקחת את הערך של שני הפריטים הבאים.

4. פיצוי את הסכום של נפח אוויר הפליטה הפנימי ונפח האוויר הצח הנדרש לשמירה על ערך הלחץ החיובי הפנימי.

5. יש לוודא שכמות האוויר הצח המסופקת לחדר נקי לאדם לשעה לא תפחת מ-40 מ"ר.