דרישת עיצוב חדר נקי אלקטרוני

בנוסף לשליטה קפדנית על חלקיקים, חדר נקי אלקטרוני המיוצג על ידי סדנאות ייצור שבבים, סדנאות משולבות ללא אבק וסדנאות ייצור דיסקים יש גם דרישות מחמירות יותר לבקרת טמפרטורה ולחות, תאורה ומיקרו-הלם. הסר בקפדנות את ההשפעה של חשמל סטטי על מוצרי ייצור, כך שהסביבה יכולה לעמוד בדרישות תהליך הייצור של מוצרים אלקטרוניים בסביבה נקייה.

יש לקבוע את הטמפרטורה והלחות של החדר הנקי האלקטרוני על פי דרישות תהליך הייצור. כאשר אין דרישות ספציפיות לתהליך הייצור, הטמפרטורה יכולה להיות 20-26 מעלות צלזיוס והלחות היחסית היא 30%-70%. הטמפרטורה של החדר הנקי והסלון של כוח האדם יכולה להיות 16-28 ℃. על פי התקן הלאומי הסיני GB-50073, התואם את התקנים הבינלאומיים של ISO, רמת הניקיון של סוג זה של חדר נקי הוא 1-9. ביניהם, כיתה 1-5, דפוס זרימת האוויר הוא זרימה חד כיוונית או זרימה מעורבת; דפוס זרימת אוויר בכיתה 6 הוא זרימה בלתי-כיוונית ושינוי אוויר הוא 50-60 פעמים/שעה; סוג זרימת אוויר מחלקה 7 הוא זרימה בלתי-כיוונית, ושינוי האוויר הוא 15-25 פעמים/שעה; סוג זרימת אוויר בכיתה 8-9 הוא זרימה לא כיוונית, שינוי האוויר הוא 10-15 פעמים בשעה.

על פי המפרט הנוכחי, רמת הרעש בתוך חדר נקי אלקטרוני של כיתה 10,000 לא צריכה להיות גדולה מ- 65dB (א).

1. היחס המלא של החדר הנקי של הזרימה האנכית בחדר הנקי האלקטרוני לא צריך להיות פחות מ -60%, והחדר הנקי של הזרימה החד -כיוונית האופקית לא צריך להיות פחות מ- 40%, אחרת זה יהיה זרימה חד כיוונית חלקית.

2. הפרש הלחץ הסטטי בין חדר נקי אלקטרוני לחיק הטבע לא צריך להיות פחות מ- 10PA, והבדל הלחץ הסטטי בין אזורים נקיים לאזורים שאינם נקיים עם ניקיון אוויר שונה לא צריך להיות פחות מ- 5PA.

3. כמות האוויר הצח בחדר הנקי האלקטרוני של Class 10000 צריכה לקחת את הערך של שני הפריטים הבאים.

4. פצה את סכום נפח האוויר הפליטה המקורה ואת נפח האוויר הצח הנדרש לשמירה על ערך הלחץ החיובי המקורה.

5. וודא שכמות האוויר הצח המסופק לחדר נקי לאדם לשעה אינה פחות מ -40 מ"ר.