דרישות תכנון של חדר נקי אלקטרוני

בנוסף לבקרה קפדנית של חלקיקים, לחדרים נקיים אלקטרוניים המיוצגים על ידי סדנאות לייצור שבבים, סדנאות ללא אבק של מעגלים משולבים וסדנאות לייצור דיסקים יש גם דרישות מחמירות יותר לבקרת טמפרטורה ולחות, תאורה ומיקרו-הלם. יש להסיר בקפדנות את השפעת החשמל הסטטי על מוצרי הייצור, כך שהסביבה תוכל לעמוד בדרישות תהליך הייצור של מוצרים אלקטרוניים בסביבה נקייה.

יש לקבוע את הטמפרטורה והלחות של חדר נקי אלקטרוני בהתאם לדרישות תהליך הייצור. כאשר אין דרישות ספציפיות לתהליך הייצור, הטמפרטורה יכולה להיות 20-26 מעלות צלזיוס והלחות היחסית היא 30%-70%. טמפרטורת חדר נקי וסלון הצוות יכולה להיות 16-28 מעלות צלזיוס. על פי התקן הלאומי הסיני GB-50073, התואם את תקני ISO הבינלאומיים, רמת הניקיון של חדר נקי מסוג זה היא 1-9. ביניהן, דרגות 1-5, דפוס זרימת האוויר הוא זרימה חד כיוונית או זרימה מעורבת; דרגת 6, דפוס זרימת אוויר הוא זרימה לא חד כיוונית וחילוף האוויר הוא פי 50-60/שעה; דרגת 7, סוג זרימת אוויר הוא זרימה לא חד כיוונית, וחילוף האוויר הוא פי 15-25/שעה; דרגות 8-9, סוג זרימת אוויר הוא זרימה לא חד כיוונית, וחילוף האוויר הוא פי 10-15/שעה.

על פי המפרטים הנוכחיים, רמת הרעש בחדר נקי אלקטרוני ברמה 10,000 לא צריכה להיות גבוהה מ-65dB(A).

1. יחס הזרימה המלא של חדר נקי עם זרימה אנכית בחדר נקי אלקטרוני לא צריך להיות פחות מ-60%, ויחס הזרימה האופקית החד-כיוונית לא צריך להיות פחות מ-40%, אחרת תהיה זו זרימה חד-כיוונית חלקית.

2. הפרש הלחצים הסטטי בין חדר נקי אלקטרוני לבין החוץ לא צריך להיות פחות מ-10 פאסל, והפרש הלחצים הסטטי בין אזורים נקיים לאזורים לא נקיים עם ניקיון אוויר שונה לא צריך להיות פחות מ-5 פאסל.

3. כמות האוויר הצח בחדר נקי אלקטרוני ברמה 10000 צריכה להיות בהתאם לשני הפריטים הבאים.

4. פיצוי על סכום נפח אוויר הפליטה הפנימי ונפח האוויר הצח הנדרש כדי לשמור על ערך הלחץ החיובי הפנימי.

5. יש לוודא שכמות האוויר הצח המסופקת לחדר הנקי לאדם לשעה אינה פחותה מ-40 מטרים רבועים.