מפרט עיצוב חדר נקי

קביעת רמת ניקיון האוויר של כל חדר נקי צריכה לעמוד בדרישות הבאות:

1. כאשר ישנם מספר תהליכים בחדר נקי, יש לאמץ רמות ניקיון אוויר שונות בהתאם לדרישות השונות של כל תהליך.

1. בהנחה של עמידה בדרישות תהליך הייצור, חלוקת האוויר ורמת הניקיון של החדר הנקי צריכים לאמץ שילוב של טיהור אוויר באזור העבודה המקומי וטיהור אוויר בחדר שלם.

(1). חדר נקי זרימה למינרית, חדר נקי זרימה סוערת וחדר נקי עם משמרות הפעלה וזמני שימוש שונים צריכים להפריד בין מערכות מיזוג אוויר מטוהרות.

(2). הטמפרטורה המחושבת והלחות היחסית בחדר נקי צריכים לעמוד בתקנות הבאות:

① לעמוד בדרישות תהליך הייצור;

②כאשר אין דרישות טמפרטורה או לחות לתהליך הייצור, טמפרטורת החדר הנקי היא 20-26℃ והלחות היחסית היא 70%.

1. יש להבטיח כמות מסוימת של אוויר צח לחדר נקי, ויש לקחת את ערכו כמקסימום של נפחי האוויר הבאים;

(1). 10% עד 30% מכלל אספקת האוויר בחדר נקי זרימה סוערת, ו-2-4% מכלל אספקת האוויר בחדר נקי זרימה למינרית.

(2). כמות האוויר הצח נדרשת כדי לפצות על אוויר הפליטה הפנימי ולשמור על ערך הלחץ החיובי הפנימי.

(3). ודא שנפח האוויר הצח לאדם לשעה אינו קטן מ-40 מ"ק.

1. בקרת לחץ חיובי לחדר נקי

חדר נקי חייב לשמור על לחץ חיובי מסוים. הפרש הלחץ הסטטי בין חדרים נקיים ברמות שונות ובין אזור נקי לאזור לא נקי לא צריך להיות קטן מ-5Pa, והפרש הלחץ הסטטי בין אזור נקי לחוץ לא צריך להיות פחות מ-10Pa.