ניתוח ופתרון לגילוי מוגזם של חלקיקים גדולים בפרויקטים של חדר נקייה

לאחר הזמנת האתר עם תקן Class 10000, הפרמטרים כמו נפח אוויר (מספר שינויי אוויר), הפרש לחץ וחיידקי משקעים כולם עומדים בדרישות התכנון (GMP) ורק פריט אחד של גילוי חלקיקי אבק אינו מסודר (כיתה 100000). תוצאות המדידה הנגדיות הראו כי חלקיקים גדולים חרגו מהתקן, בעיקר 5 מיקרומטר ו -10 מיקרומטר חלקיקים.

1. ניתוח כישלונות

הסיבה לחלקיקים גדולים העולים על התקן מתרחשת בדרך כלל בחדרי נקיון בעלי נקודה גבוהה. אם השפעת הטיהור של חדר הנקייה אינה טובה, היא תשפיע ישירות על תוצאות הבדיקה; באמצעות ניתוח נתוני נפח האוויר וניסיון הנדסי קודם, תוצאות הבדיקה התיאורטיות של חדרים מסוימות צריכות להיות Class 1000; הניתוח המקדים מוצג כדלקמן:

①. עבודת הניקוי אינה עומדת בסטנדרט.

②. יש דליפת אוויר ממסגרת פילטר HEPA.

③. למסנן HEPA יש דליפה.

④. לחץ שלילי בחדר הנקי.

⑤. נפח האוויר אינו מספיק.

⑥. המסנן של יחידת המיזוג סתומה.

⑦. מסנן האוויר הצח חסום.

בהתבסס על הניתוח לעיל, ארגון הארגון ארגן כוח אדם כדי לבחון מחדש את מצב חדר הנקי ומצא את נפח האוויר, הפרש הלחץ וכו 'כדי לעמוד בדרישות העיצוב. הניקיון של כל החדרים הנקיים היה Class 100000 וחלקיקי האבק 5 מיקרומטר ו -10 מיקרומטר חרגו מהתקן ולא עמדו בדרישות התכנון של Class 10000.

2. נתח ומבטל תקלות אפשריות אחת אחת

בפרויקטים קודמים היו מצבים בהם הפרש לחץ לא מספיק והפחתת נפח אספקת האוויר התרחשו כתוצאה מחסימה ראשונית או יעילה בינונית במסנן האוויר הצח או ביחידה. על ידי בדיקת היחידה ומדידת נפח האוויר בחדר, נשפט כי פריטים ④⑤⑥⑦ אינם נכונים; הנותר הבא הוא נושא הניקיון והיעילות המקורה; אכן לא נעשה ניקוי באתר. כאשר בודקים וניתוח הבעיה, העובדים ניקו במיוחד חדר נקי. תוצאות המדידה עדיין הראו כי חלקיקים גדולים חרגו מהתקן ואז פתחו את תיבת ה- HEPA בזה אחר זה לסריקה ולסנן. תוצאות הסריקה הראו כי פילטר HEPA אחד נפגע באמצע, וערכי המדידה של ספירת החלקיקים של המסגרת בין כל המסננים האחרים לבין תיבת ה- HEPA גדלו לפתע, במיוחד עבור 5 מיקרומטר ו -10 מיקרומטר חלקיקים.

3. פיתרון

מכיוון שגורם לבעיה נמצא, קל לפתור. תיבת ה- HEPA המשמשת בפרויקט זה הם כולם מבני פילטר לחוץ על הברגים. יש פער של 1-2 ס"מ בין מסגרת המסנן לקיר הפנימי של תיבת HEPA. לאחר מילוי הפערים ברצועות איטום ואיטום אותם באיטום ניטרלי, ניקיון החדר הוא עדיין Class 100000.

4. ניתוח מחדש של תקלות

כעת, לאחר שנחתם מסגרת תיבת הפא, והמסנן נסרק, אין נקודת דליפה במסנן, כך שהבעיה עדיין מתרחשת על מסגרת הקיר הפנימי של האוורור האווירי. ואז סרקנו שוב את המסגרת: תוצאות הגילוי של מסגרת הקיר הפנימית של תיבת HEPA. לאחר שעבר את החותם, בדוק מחדש את הפער של הקיר הפנימי של תיבת ההפטה ומצא שהחלקיקים הגדולים עדיין חורגים מהתקן. בהתחלה, חשבנו שזו תופעת הזרם הערמומית בזווית שבין המסנן לקיר הפנימי. התכוננו לתלות סרט 1M לאורך מסגרת המסנן של HEPA. סרטי השמאל והימין משמשים כמגן ואז מבחן הניקיון מתבצע תחת פילטר HEPA. כשמתכוננים להדביק את הסרט, נמצא כי לקיר הפנימי יש תופעה של קילוף צבע, ויש פער שלם בקיר הפנימי.

5. לטפל באבק מתיבת הפא

הדבק קלטת נייר אלומיניום על הקיר הפנימי של תיבת הפא כדי להפחית את האבק על הקיר הפנימי של נמל האוויר עצמו. לאחר הדבקה של סרט נייר אלומיניום, זיהו את מספר חלקיקי האבק לאורך מסגרת המסנן של HEPA. לאחר עיבוד איתור המסגרת, על ידי השוואה בין תוצאות זיהוי הדלפק של החלקיקים לפני ואחרי העיבוד, ניתן לקבוע בבירור כי הסיבה לחלקיקים הגדולים העולים על התקן נגרמת על ידי האבק המפוזר על ידי תיבת HEPA עצמה. לאחר התקנת כיסוי המפזר, החדר הנקי נבדק מחדש.

6. סיכום

החלקיק הגדול העולה על הסטנדרט נדיר בפרויקט חדר הנקי, וניתן להימנע ממנו לחלוטין; באמצעות סיכום הבעיות בפרויקט חדר נקי זה, יש לחזק את ניהול הפרויקטים בעתיד; בעיה זו נובעת משליטה הרופפת ברכש חומרי הגלם, מה שמוביל לאבק מפוזר בתיבת HEPA. בנוסף, לא היו פערים בתיבת HEPA או בקילוף צבע במהלך תהליך ההתקנה. בנוסף, לא הייתה בדיקה חזותית לפני התקנת המסנן, וכמה ברגים לא היו נעולים בחוזקה כאשר הותקן המסנן, אשר כולם הראו חולשות בניהול. למרות שהסיבה העיקרית היא אבק מתיבת HEPA, בניית החדר הנקי לא יכולה להיות מרושלת. רק על ידי ביצוע ניהול ובקרה איכותית לאורך כל התהליך מתחילת הבנייה ועד סוף ההשלמה ניתן להשיג את התוצאות הצפויות בשלב הזמנה.